【導(dǎo)讀】越來越多的應(yīng)用需要從處于高溫環(huán)境中的傳感器收集數(shù)據(jù)。近年來,半導(dǎo)體、無源器件和互連領(lǐng)域取得了很大進展,使得高精度數(shù)據(jù)采集和處理成為可能。但是,人們需要能夠在175°C高溫條件下運行的傳感器,尤其是采用微機電系統(tǒng)(MEMS)提供的易于使用的傳感器,這一需求尚未得到滿足。相比同等的分立式傳感器,MEMS通常更小巧,功耗和成本都更低。此外,它們還可以在同樣大小的半導(dǎo)體封裝內(nèi)集成信號調(diào)理電路。
目前已發(fā)布高溫MEMS加速度計ADXL206,它可以提供高精度傾角測量。但是,還需要更加靈活和自由,以準確測量系統(tǒng)在嚴苛環(huán)境應(yīng)用下的移動,在這些環(huán)境下,最終產(chǎn)品可能遭受沖擊、振動和劇烈移動。這種類型的濫用會導(dǎo)致系統(tǒng)過度磨損和提前出現(xiàn)故障,由此產(chǎn)生高額的維護或停機成本。
為了滿足這一需求,ADI公司開發(fā)了一款集成信號調(diào)理功能的高溫MEMS陀螺儀,即ADXRS645。此傳感器即使在沖擊和振動環(huán)境下也能實現(xiàn)準確的角速率(轉(zhuǎn)速)測量,且額定工作溫度高達175°C。
工作原理
MEMS陀螺儀利用科氏加速度來測量角速率。關(guān)于科氏效應(yīng)的解釋,從圖1開始。設(shè)想自己站在一個旋轉(zhuǎn)平臺上,站在靠近中心的位置。您相對于地面的速度以藍色箭頭的長度來顯示。如果您移動到靠近平臺外緣的位置,您相對于地面的速度會加快,具體由更長的藍色箭頭表示。由徑向速度引起的切向速度的增長率,就是科氏加速度。
圖1. 科氏加速度示例。人員向北移動到旋轉(zhuǎn)平臺的外緣時,必須增大向西的速度分量(藍色箭頭),以保持向北移動的路線。所需的加速度就是科氏加速度。
如果Ω表示角速率, r 表示半徑,切向速度即為Ωr。所以,如果在速度為v時,r改變,則會產(chǎn)生切向加速度Ωv。其值是科氏加速度的一半。另一半來自徑向速度方向的改變,總共為2Ωv。如果您施加質(zhì)量體(M),那么平臺必須施加力—2MΩv—來產(chǎn)生這種加速度,那么質(zhì)量體也會經(jīng)受對應(yīng)的反作用力。ADXRS645通過使用與人在旋轉(zhuǎn)平臺上向中心和向外緣移動時對應(yīng)的諧振質(zhì)量體來利用這種效應(yīng)。質(zhì)量體是采用多晶硅,通過微機械加工而成,并粘接在多晶硅框架上,所以它只能沿一個方向諧振。
圖2. 科氏效應(yīng)演示:響應(yīng)懸掛在框架內(nèi)的硅質(zhì)量體的諧振。綠色箭頭表示結(jié)構(gòu)受到的力(基于諧振質(zhì)量體的狀態(tài))。
圖2顯示,當諧振質(zhì)量體向旋轉(zhuǎn)平臺的外緣移動時,它向右加速,并向左對框架施加一個反作用力。當它向旋轉(zhuǎn)中心移動時,它向右施加一個力,如綠色箭頭所示。
為了測量科氏加速度,我們使用與諧振運動方向呈90°的彈簧,將包含諧振質(zhì)量體的框架連接到襯底上,具體如圖3所示。此圖還顯示了科氏檢測指針,它通過電容轉(zhuǎn)導(dǎo),在受到施加給質(zhì)量體的力影響時檢測框架的位移。
圖3. 該陀螺儀的機械架構(gòu)原理圖。
圖4顯示完整的結(jié)構(gòu),從中可以看出,當諧振質(zhì)量體移動,陀螺儀所在的安裝平面旋轉(zhuǎn)時,質(zhì)量體和其框架會受到科氏加速度影響,并因為振動旋轉(zhuǎn)90°。隨著轉(zhuǎn)速加快,質(zhì)量體的位置和從對應(yīng)的電容獲取的信號發(fā)生改變。需要注意的是,陀螺儀可以按任意角度放置在旋轉(zhuǎn)物體的任意位置,只要它的檢測軸與旋轉(zhuǎn)軸平行即可。
圖4. 框架和諧振質(zhì)量體受科氏效應(yīng)影響,產(chǎn)生橫向位移。
電容檢測
ADXRS645通過附加在諧振器上的電容傳感元件來測量諧振質(zhì)量體和框架因科氏效應(yīng)產(chǎn)生的位移,具體如圖4所示。這些元件都是硅棒,與襯底上連接的兩組固定硅棒交錯,形成兩個名義上相等的電容。角速率引起的位移會在系統(tǒng)中產(chǎn)生差分電容。
在實際應(yīng)用中,科氏加速度是一個極小的信號,會導(dǎo)致幾分之 一埃的射束偏轉(zhuǎn),以及仄法級別的電容變化(譯者注:1仄法=1e-21法拉)。因此,最大限度降低對寄生源(例如溫度、封裝應(yīng)力、外部加速度和電噪聲)的相互干擾是極為重要的。這種作用一部分是通過將電子器件(包括放大器和濾波器)和機械傳感器放置在同一裸片上來實現(xiàn)的。但是,更重要的是在信號鏈中距離盡可能遠的位置實施差分測量,并將信號與諧振器速度關(guān)聯(lián)起來,尤其是在處理外部加速度產(chǎn)生的影響時。
振動抑制
理想情況下,陀螺儀只對轉(zhuǎn)速敏感,對其他東西都不敏感。在實際應(yīng)用中,由于陀螺儀的機械設(shè)計不對稱,且/或微加工精度不夠,所有陀螺儀都對加速度有一定的敏感性。事實上,加速度靈敏度有多種表現(xiàn)形式——其嚴重程度因設(shè)計而異。最為嚴重的通常要屬對線性加速度的靈敏度(或 g 靈敏度)和振動整流的靈敏度(或 g 2 靈敏度),嚴重到足以完全抵消該器件的額定偏置穩(wěn)定性。當速率輸入量超過額定測量范圍時,有些陀螺儀軌與軌之間的輸出會存在差異。其他陀螺儀在受到低至幾百 g 的沖擊時,會傾向于鎖死。這些陀螺儀不會受到?jīng)_擊損壞,但是也無法再對速率做出響應(yīng),需要進行重啟。
ADXRS645采用了一種新穎的角速率檢測方法,使其能夠抑制高達1000 g 的沖擊。它使用四個諧振器對信號實施差分檢測,并抑制與角移動無關(guān)的共模外部加速度。圖5頂部和底部的諧振器彼此獨立,并且是反相操作的。所以,它們測量的旋轉(zhuǎn)幅度相同,但輸出方向相反。因此,利用傳感器信號之間的差值來測量角速率。如此可以消除對兩個傳感器造成影響的非旋轉(zhuǎn)信號。信號在前置放大器前面的內(nèi)部硬連線中組合。因此,會在很大程度上防止極端加速過載到達電子器件,從而使得信號調(diào)理能在受到大型沖擊時保持角速率輸出。
圖5. 四通道差分傳感器設(shè)計。
傳感器安裝
圖6所示為陀螺儀、相關(guān)的驅(qū)動和檢測電路的簡化原理圖。
圖6. 集成式陀螺儀的框圖。
諧振器電路檢測諧振質(zhì)量體的速度,進行放大,并驅(qū)動諧振器,同時相對于科氏信號路徑保持一個控制良好的相位(或延遲)??剖想娐繁挥糜跈z測加速度計框架的移動,利用下游信號處理來提取科氏加速度的幅度,并生成與輸入轉(zhuǎn)速一致的輸出信號。此外,自檢功能會檢查整個信號鏈(包括傳感器)的完整性。
應(yīng)用示例
對于電子設(shè)備來說,最嚴苛的使用環(huán)境莫過于石油和天然氣的井下鉆井行業(yè)。這些系統(tǒng)利用大量傳感器來更好地了解鉆柱在地表下的運行狀況,以優(yōu)化操作并防止造成損壞。鉆機的轉(zhuǎn)速以RPM為單位測量,是鉆機操作員時刻需要掌握的一個關(guān)鍵指標。以前,這個指標由磁力計計算得出。但是,磁力計容易受到鉆機套管和周圍井眼中的鐵質(zhì)材料影響。它們還必須采用特殊的無磁性鉆環(huán)(外殼)。
除了簡單的RPM測量之外,人們越來越熱衷于了解鉆柱動態(tài),以更好地管理施加的力的大小、轉(zhuǎn)速和轉(zhuǎn)向等參數(shù)。鉆柱動態(tài)如果管理不善,可能導(dǎo)致鉆柱高度振動和出現(xiàn)極不穩(wěn)定的移動,這會導(dǎo)致目標區(qū)域的鉆井時間延長、設(shè)備過早故障、鉆頭轉(zhuǎn)向困難,且會對鉆井本身造成損壞。在極端情況下,設(shè)備可能斷裂并殘留在鉆井中,之后需要支付極高的成本才能取回。
因鉆柱參數(shù)管理不善會導(dǎo)致一種特別有害的移動,即粘滑。粘滑是指鉆頭卡住,但鉆柱頂部繼續(xù)旋轉(zhuǎn)的現(xiàn)象。鉆頭被卡住后,鉆柱底部持續(xù)轉(zhuǎn)動收緊,直到達到足夠扭矩,造成斷裂和松脫,這種斷裂通常非常劇烈。發(fā)生這種情況時,鉆頭上會出現(xiàn)按轉(zhuǎn)速旋轉(zhuǎn)的大尖峰。粘滑一般周期性發(fā)生,可以持續(xù)很長一段時間。對粘滑的典型RPM響應(yīng)如圖7所示。由于地表的鉆柱繼續(xù)正常運行,鉆機操作員通常無法意識到,井下正在發(fā)生這種非常具有破壞性的現(xiàn)象。
圖7. 粘滑循環(huán)RPM剖面圖示例。
在這種應(yīng)用中,一個關(guān)鍵的測量方法是準確、頻繁地測量鉆頭附近的轉(zhuǎn)速。陀螺儀(例如具有振動抑制效果的ADXRS645)非常適合執(zhí)行這項任務(wù),因為其測量不受鉆柱的線性移動影響。在出現(xiàn)高度振動和不穩(wěn)定移動時,磁力儀計算得出的轉(zhuǎn)速易受噪聲和誤差影響?;谕勇輧x的解決方案能夠即時測量得出轉(zhuǎn)速,且不使用易受沖擊和振動影響的過零或其他算法。
此外,相比磁通磁力計解決方案,基于陀螺儀的電路體積更小,需要的元器件數(shù)量更少,而前者需要多個磁力計軸和額外的驅(qū)動電路。ADXRS645中集成了信號調(diào)理功能。此器件采用低功耗、低引腳數(shù)封裝,支持高溫IC對陀螺儀模擬輸出采樣并將其數(shù)字化。采用圖8中所示的簡化信號鏈,可以實現(xiàn)提供數(shù)字輸出、額定溫度為175°C的陀螺儀電路。
圖8. 額定溫度為175°C的陀螺儀數(shù)字輸出信號鏈。
總結(jié)
本文介紹了可在175°C高溫環(huán)境下使用的MEMS陀螺儀——ADXRS645。此傳感器能在惡劣的環(huán)境應(yīng)用中準確測量角速率,防止沖擊和振動造成影響。此陀螺儀由一系列高溫IC提供支持,以獲取信號并進行處理。
ADXRS645
●創(chuàng)新型陶瓷垂直安裝封裝可針對俯仰率或滾轉(zhuǎn)率響應(yīng)來調(diào)整方向
●寬溫度范圍:−40°C 至 +175°C
●長使用壽命:在 TA = 175°C 的溫度下保證 1000 小時
●在寬頻率范圍內(nèi)具有高防振性能
●10,000 g 動力沖擊生存能力
●與基準電壓源成比率
●5 V 單電源供電
●收到數(shù)字命令時自檢
●溫度傳感器輸出
(來源:亞德諾半導(dǎo)體)
(來源:亞德諾半導(dǎo)體)
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